定制DUV物镜用于半导体检查
复杂的定制光机械组件,用于集成到半导体设备系统中
自定义电动变焦镜头模块
部分/

半导体设备

Excelitas在设计,工程和生产中拥有超过40多年的专业知识,在半导体制造中使用的激光器,光源,光学和复杂的光机械组件的设计,工程和生产,并集成到半导体设备中。我们提供了严格的稳定性,亚微米分辨率和可靠的光学力学精度,这对半导体技术的持续演化至关重要。

复杂的定制光机械组件,用于集成到半导体设备系统中

定制光子解决方案

从精密光学解决方案的设计和原型通过批量生产,Excelitas的光学专业知识和创新重新定义了光子凝视性能,晶圆检验,计量,芯片加工,粘接和包装。从DUV通过IR,我们的光学解决方案使得可见的特征尺寸可实现集成电路生产的关键任务过程所需的特征尺寸。

从微量到宏的检查镜头

Excelitas为芯片处理和晶片检测提供高端光学元件,组件和子系统。再加上我们广泛的照明,激光技术,Excelitas是您端到端的光子解决方案用于半导体应用的合作伙伴。必威平台怎么样

  • 复杂的Plano,非球面,自由形式,钻石转动和金属光学
  • 高分辨率表面检查
  • 均匀的宽和窄带照明
  • 纤维耦合固态激光器
  • 定制激光束整形光学
  • 真空兼容光纤
  • 晶片对齐的参考

坚定不移的可靠性

我们在电脑对齐,中心和固定技术方面擅长。使用现代计量设备检查质量检验,包括棚屋感测,非球面相移干扰测量法,UV至IR干涉测量和MTF测试和宽带分光光度法。我们的现场验证质量从我们最先进的设施升起,配备了最现代化的机械,洁净室1000级装配设施和ISO 9001,14001和13485认证的严格维护。